始建于1996年7月,以等离子体化学与新材料为主要研究领域。2001年经湖北省教育厅、科技厅批准为湖北省重点实验室。本实验室以微波等离子体技术和先进材料为主要研究对象,主要研究:(1)微波源、微波器件及微波等离子体装置的研制;(2)等离子体物理性能对材料结构及性能的影响;(3)等离子体技术及相关材料的工业化和产业化研究。实验室面积600m2,拥有等离子体刻蚀机、不同功率的微波等离子体化学气相沉积设备(1
kW、5kW)、微波ECR溅射装置、微波ECR化学气相沉积装置、热丝化学气相沉积装置、多靶磁控溅射镀膜装置、X射线衍射仪等大型装置共19台套,设备总价值达300余万元。本实验室已成为科学研究和人才培养的重要基地,培养博士生7名,硕士生8名。研究人员中,多名成员为省级重点学科“材料学”责任教授、学术带头人及学术骨干,对学科建设和学科发展起着显著的推动作用。 |